MSA-100-3D 显微式测振仪
MEMS系统的3D振动测量
实物的振动通常是三维振动。虽然可选择优先显示某特定方向的振动,但由于存在产品公差和其它影响,在其它空间方向也存在运动分量。 MSA-100-3D显微式激光测振仪可在大带宽范围内实时测量被测物体的动态特性,分辨率高,同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量,每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。
典型应用
· 惯性传感器,如加速度计和陀螺仪
· 微机电传感器和致动器 (MEMS)
· 打印机喷墨头
· 压力传感器薄膜
· 耳机、微型镜头等
· 实时振动测量,高达 25MHz 的大带宽
· 用于面外和面内振动测量,振幅分辨率达亚皮米级
· 单点式和全场扫描式振动测量
· 激光光斑小于 4μm,横向分辨率极高
· 测试距离大,可达38mm
· 可与常见的MEMS商用探针测试台兼容